用于检测烃类的气体传感器的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11634422

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用于检测烃类的气体传感器背景在各种工业或实验室环境中已使用用于检测烃类或取代烃类的气体传感器来进行过程控制。由于所述化合物还可能是可燃或可爆的,所以在使用或制造此类化合物的地方还使用气体检测传感器来进行泄漏检测。已使用或提出了各种类型的传感器。实例包括金属氧化物半导体(MOS)传感器、非分散红外检测器(NDIR)传感器、pellistor(粒状电阻器)传感器以及利用由陶瓷(诸如钙钛矿)制成的高温固体电解质的混成电位型传感器。烃类或取代烃类的新应用对气体检测传感器已经形成并且持续形成新的挑战。一种...
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