技术编号:11634497
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种对通过原子力显微镜(AFM:AtomicForceMicroscope)等扫描型探针显微镜(SPM:ScanningProbeMicroscope)取得的测定数据、更详细地说表示各种物理量的分布的数据进行处理并进行图像显示的扫描型探针显微镜用数据显示处理装置等。背景技术以AFM为代表的SPM一般通过设置于能够在垂直(z轴)方向上振动的悬臂的自由端的探针(probe),对放置于在水平(x-y平面)以及垂直方向上可动的台上的样品表面进行扫描,从而观察该样品表面的状态(例如专利文献1)。...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。