扫描型探针显微镜用数据显示处理装置、扫描型探针显微镜用数据显示处理方法以及控制程序与流程技术资料下载

技术编号:11634497

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本发明涉及一种对通过原子力显微镜(AFM:AtomicForceMicroscope)等扫描型探针显微镜(SPM:ScanningProbeMicroscope)取得的测定数据、更详细地说表示各种物理量的分布的数据进行处理并进行图像显示的扫描型探针显微镜用数据显示处理装置等。背景技术以AFM为代表的SPM一般通过设置于能够在垂直(z轴)方向上振动的悬臂的自由端的探针(probe),对放置于在水平(x-y平面)以及垂直方向上可动的台上的样品表面进行扫描,从而观察该样品表面的状态(例如专利文献1)。...
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