技术编号:11636208
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。形成具有非对称外形的鳍状物结构的装置和方法背景技术例如,将诸如磷化铝铟等外延材料集成到诸如硅衬底等衬底上在微电子器件应用中是非常期望的。高质量外延材料增强了诸如片上系统(SoC)、高电压和射频器件以及互补金属氧化物硅(CMOS)应用等应用的性能。该集成涉及可能由于两种材料之间的晶格性质失配而引起的制造挑战。附图说明尽管说明书以特定地指出并清晰地要求保护某些实施例作为结束,但在结合附图阅读时,从对实施例的以下描述中可以更容易确定这些实施例的优点,在附图中:图la-1i表示根据各个实施例的结构的截面...
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