技术编号:11642896
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种旋转陶瓷靶坯体成型方法及其所使用的模具,具体地说是一种ITO旋转靶坯体单面离心式压力注浆成型方法及模具。背景技术ITO是Tin-dopedIndiumOxide的缩写名称,ITO的含义是指一种铟锡氧化物材料,ITO旋转靶坯体是指由铟锡氧化物制成的旋转靶烧结前的圆筒形毛坯,坯体内径一般为150~200mm、外径为165~220mm、筒高为300~350mm。目前ITO旋转靶坯体的成型方法,通常有橡胶包套干粉冷等静压以及以普通石膏为模具的注浆成型方法这两种。中国专利(CN1031932...
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