技术编号：11644811
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机械压力传感器装置的制造方法和一种相应的微机械压力传感器装置。背景技术基于MEMS技术的压力传感器可以包括平行于芯片正面延伸的电容器结构和/或膜片。这种压力传感器的尺寸缩小或者简化是研究和开发中的挑战。具有平行的探测结构的压力传感器占据特别是芯片面的直至大于70％。为了缩小探测结构，特别是也需要减小相应的层厚度。然而在相应的膜片中减小层厚度变得很困难，因为较小的膜片可能具有降低的灵敏度。这个可以特别是导致，这种压力传感器不满足ASIC或相应的分析电路的灵敏度要求。此外，压力传感器...
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