技术编号:11645735
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。新型化合物及其制造方法、产酸剂、抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法本申请是200810185226.8的分案申请,原申请的申请日为2008年12月18日,原申请的发明名称为本发明涉及用作抗蚀剂组合物用产酸剂的新型化合物及其制造方法、产酸剂、抗蚀剂组合物和抗蚀剂图案形成方法、以及能作为用作抗蚀剂组合物用产酸剂的化合物的中间体使用的新型化合物及其制造方法。本申请要求2007年12月21日在日本提出的特愿2007-330891号、2007年12年21日在日本提出的特愿2007-331163号以及200...
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