技术编号：11647443
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体制造领域，特别涉及一种管路清洗装置。背景技术在半导体制造工艺中，需要使用各种气体，这些气体很多都会通过气体管路传输，气体管路在长期使用中，气体中携带的粒子经常会黏附在管壁上，特别是一些易被氧化的气体，被氧化后的粉尘颗粒黏附在管壁上，例如：SiH4被氧化后形成粉尘颗粒挂在管壁上。此外，粘滞性气体长期使用会在气体管壁上黏附且容易脱落。同时，气体管路在90度弯角处容易形成杂质残留，且容易液化的气体会在90度弯角处累积。对于在工艺中要求的高纯度气体来说，无论是黏附在气体管路上的粉尘，...
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