技术编号：11650070
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微型离心泵领域，更具体地，涉及一种机械泵。背景技术从20世纪80年代开始,以微加工技术为基础的微机电系统(MEMS)逐步从实验室探索阶段进入工业应用时期。微流体系统是微机电系统中的一个主要研究方向,它具有尺寸微小、自动化、集成化以及能批量生产等特点,并且由于尺寸小,能减小流动系统中的无效体积，提高控制精度，降低能耗和试剂用量，而且机械响应速度快。因此，近年来它在流体精确控制、化学分析(如微总分析系统)、芯片冷却和微型卫星等领域中具有巨大的市场应用前景。微泵作为微流体系统中的动力源，是其...
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