一种具有高集成度的自供电压力传感器的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11651692

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本发明涉及压力传感器的技术领域,具体涉及一种具有高集成度的自供电压力传感器。背景技术压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。同时,物联网传感器节点被广泛应用,通过改进传感器结构和功能,使得传感器更加适用于物联网传感器节点,是目前传感器领域研究的热题。目前,常规的压力传感器或者其他传感器,都或多或少地需要相应的外部电源或者内部电池供电,也都或多或少地需要外部特...
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