技术编号:11652711
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及晶圆测试设备领域,尤其涉及一种晶圆针测机。背景技术晶圆测试对环境要求非常高,针测机对晶圆做针测需要在无尘室环境下进行。无尘室亦称为洁净室,它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。芯片设计公司或晶圆代工厂在芯片试生产阶段需要对制造出的晶圆做晶圆测试,测试除了需要购买...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。