技术编号：11653437
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种紧凑型游丝，更具体地涉及用于与摆轮配合以形成谐振器的这种类型的游丝。背景技术硅制游丝的成本与其表面积基本成比例，即，在相同晶片上能刻蚀的游丝越多，则游丝的单位成本越低。但是，随意地降低尺寸是不可能的，因为无论在收缩状态或扩展状态，游丝的线圈都必须不能彼此接触。发明内容本发明的一个目的是通过提出一种紧凑型游丝来克服全部或部分的上述缺陷，同时保证无论在收缩状态还是扩展状态，游丝的线圈都不会彼此接触。为此，本发明涉及一种一体式游丝，其包括在内线圈和外线圈之间自身卷绕的单个条带，所述条带在...
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