技术编号:11657071
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于电子科学技术领域,涉及射频微机电系统(RFMEMS器件,尤其是电容式MEMS谐振器,具体提供一种具有多对驱动感应电极的电容式MEMS谐振器。背景技术谐振器是电子设备中的关键器件之一,目前电子设备中使用的主要是石英晶体谐振器,但随着对电子设备高性能、小型化的进一步要求,石英晶体谐振器的大体积、高功耗和无法与IC工艺兼容等缺点变得非常凸显。静电驱动电容式MEMS谐振器是一种基于微机械工艺和微机械振动的高性能谐振器器件,它具有体积小、低功耗、与IC工艺兼容的优点,使得其在系统小型化发展过程中...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。