技术编号：11657109
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及太赫兹技术领域，尤其涉及一种基于MEMS工艺的220GHz太赫兹发射机。背景技术太赫兹（THz）波从广义上来讲，是指频率在0.1-10THz范围内的电磁波，其中1THz=1000GHz，也有人认为太赫兹频率是指0.3THz-3THz范围内的电磁波。THz波在电磁波频谱中占有很特殊的位置，THz技术是国际科技界公认的一个非常重要的交叉前沿领域。在太赫兹的低端频率范围内，有几个频率范围是处于大气窗口频段的，包括94GHz、140GHz、220GHz、340GHz，这几个频段由于在大气传输中...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。