技术编号：11661171
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于应变传感器技术领域，涉及一种高灵敏度薄膜压力传感器。背景技术目前市场上公知的压力传感器产品大部分是基于硅压阻原理设计的传感器，它采用半导体工艺技术，将微机械结构和电路集成在一起，具有体积小、质量轻、功耗低、成本低等优点，在整个MEMS行业中，无论是设计研究还是产业应用硅压阻传感器都占有主要地位，但是硅压阻传感器的缺点就是使用温度范围窄(最高测量温度为125℃)，不能广泛应用于高温条件的测量。薄膜压力传感器近几年来已被广泛应用于包括民用及军用在内的各种测量领域，其敏感元件的制作采用先...
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