压电驱动式阀和压电驱动式流量控制装置的制造方法技术资料下载

技术编号:11664743

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压电驱动式阀和压电驱动式流量控制装置本申请是于2012年5月31日提交的已进入中国国家阶段的PCT专利申请(中国国家申请号为201080054455.1,国际申请号为PCT/JP2010/006483,申请日为2010年11月4日,发明名称为“压电驱动式阀和压电驱动式流量控制装置”)的分案申请。技术领域本发明涉及利用压电致动器来对阀体进行开闭控制,从而控制流体流量的压电驱动式阀和具备该压电驱动式阀的压电驱动式流量控制装置。背景技术一直以来,广泛地已知这种压电驱动式阀和压电驱动式流量控制装置(例如...
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