技术编号：11675761
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明大体上涉及微机电系统(MEMS)传感器封装。更具体来说，本发明涉及一种MEMS压力传感器，其具有可变感测间隙以用于改变压力传感器的灵敏度。背景技术具有嵌入机械组件的微机电系统(MEMS)装置包括例如压力传感器、加速计、陀螺仪、麦克风、数字镜面显示器、微型射流装置等。MEMS装置用于多种产品中，例如汽车安全气囊系统、汽车内控制应用程序、导航、显示系统、喷墨盒等。电容性感测MEMS装置设计对于微型化装置中的操作是非常需要的，这是因为它们的低温灵敏度、小尺寸并且适合低成本大批量生产。MEMS压力...
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