技术编号:11676187
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及气体检测技术领域,具体而言,涉及一种气体分析装置。背景技术目前,在对真空系统中的残余气体成分进行分析时,需要利用气体分析仪对真空系统进行分析。现有技术中是将气体分析仪连接在真空管道的支路上,在进行检测时,由于气体在支路中的量较少,造成检测困难,并导致检测数据不准确。发明内容本发明提供一种气体分析装置,以解决现有技术中的检测数据不准确的问题。根据本发明提供的一种气体分析装置,气体分析装置包括主管道,用于通入检测气体;检测装置,检测装置的检测端口与主管道连通;导向装置,设置在主管道内,用于...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。