技术编号:11683735
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于气体生产领域,涉及一种纯化回收气体的装置,尤其涉及一种单塔低温精馏回收氩气的装置。背景技术氩气是一种无色无臭的惰性气体,其分子式为Ar,分子量为39.95,蒸汽压为202.64kPa(-179℃),熔点-189.2℃,沸点-185.7℃。在工业生产中,氩气通常被用作一种高效的保护气体,使用十分广泛;例如,氩气也普遍被用于单晶硅的生产工艺中。直拉法(Czochralskimethod)是生产单晶硅的主要方法,全球70%~80%的单晶硅通过直拉法生产。最常用的直拉法生产单晶硅工艺是采用...
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