技术编号:11685263
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及真空压强领域,具体涉及一种真空压强控制仪。背景技术在真空镀膜行业以及其他一些真空应用行业,以前对真空稳定度的要求很低,只需要真空度达到一定的上限即可;现在随着理论和工艺的发展,对真空稳定度的要求越来越高。传统真空仪表已经不能满足这个需求。国外有专门的压强控制仪,但功能相对专一,价格高昂,配接的也是专门的真空传感器,专门的电磁调节阀。无法配接我国市场上普遍采用的国产标准真空传感器,国产电磁调节阀。进口真空传感器和电磁调节阀的价格更是国内产品的数十倍、上百倍,后期使用成本相当高昂。另有...
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