技术编号:11688032
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及通过拉伸基板来防止基板的松弛的基板拉伸装置。背景技术基板的自重随着基板的大型化而不断增加,因此,在水平地保持大型的基板时,存在如下情况:由于基板的自重而导致基板向下方挠曲,从而在基板上产生松弛。例如在专利文献1中记载了这样的装置:通过对基板的对置的端部互相拉伸,来防止基板发生松弛。专利文献1:韩国注册专利第10-1456671号公报专利文献1记载的基板夹紧机构构成为:使用结合有多个细分化的基板支承片的板,经由该板将基板向两侧拉伸驱动。但是,根据所支承的基板的材质、形状、面积等,基板的松...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。