技术编号:11688034
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种晶振探头用晶片盒,具体是指一种晶振探头用晶振盒。背景技术目前许多科研单位为了能准确的对基片的镀膜时间进行控制,便采用了晶振探头对靶材蒸发量进行检测,操作者通过对晶振探头所传输的晶片振荡频率的分析处理来对镀膜时间进行控制。然而,现有的晶振探头多采用单片式晶片盒,该单片式晶片盒只能对一种靶材蒸发量进行检测,对多种靶材蒸发量进行检测时则需更换晶片盒以确保检测的准确性,这极大的增加了操作者的工作量,严重的影响了晶振探头的工作效率。发明内容本发明的目的在于克服现有的晶振探头所采用的单片式晶片...
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