技术编号:11690156
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于一种光学测量系统以及光学成像系统。背景技术近年来由于元件尺寸缩小,发展出许多自动化高精度检测设备,用来检测各种微小零件甚至是各种样品。这些检测设备通过检测待测样品反射的光线,来取得待测样品的信息。其中,如何将光源与感光元件皆设置于检测设备的光路上是重要的课题。在一部分检测设备中,往往设置有分光镜,借以耦合光源的光线传送路径与感光元件的接收光线的传送路径,以使反射光线能够有效地被感光元件撷取。然而,分光镜的设置往往会降低光线强度,致使光源的能量耗损严重。此外,由于光线传送路径的耦合过程...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。