具有凹槽的石墨烯太赫兹传感器的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11690167

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本发明涉及一种传感器,具体涉及一种具有凹槽的石墨烯太赫兹传感器。背景技术石墨烯(Graphene)是一种由碳原子形成的蜂窝状平面薄膜,是一种只有一个原子层厚度的准二维材料,所以又叫做单原子层石墨。英国曼彻斯特大学物理学家安德烈·盖姆和康斯坦丁·诺沃肖洛夫,用微机械剥离法成功从石墨中分离出石墨烯,因此共同获得2010年诺贝尔物理学奖。石墨烯常见的粉体生产的方法为机械剥离法、氧化还原法、SiC外延生长法,薄膜生产方法为化学气相沉积法(CVD)。由于其十分良好的强度、柔韧、导电、导热、光学特性,在物理...
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