技术编号:11690443
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。构件处理组件和处理构件的方法本申请是一项发明申请的分案申请,其母案的发明名称是集成的测试和处理机构,申请日是2014年11月10日,申请号是201480072294.7(国际申请号:PCT/US2014/064787)。技术领域本发明涉及一种构件处理组件,特别涉及一种构件处理组件,其中施加到支承在载体的表面上的构件来使构件保持在所述表面上的真空水平,在附加构件加载到表面上时保持基本不变,以及/或在附加构件从表面上卸载时保持基本不变。背景技术本部分旨在提供权利要求中叙述的本发明的背景或环境。本文的...
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