多层石墨烯光电传感器的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11692204

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本发明涉及一种传感器,具体涉及一种多层石墨烯光电传感器。背景技术光电传感器是以光电器件作为转换元件的传感器。它可用于检测直接引起光量变化的非电物理量,如光强、光照度、辐射测温、气体成分分析等;也可用来检测能转换成光量变化的其他非电量,如零件直径、表面粗糙度、应变、位移、振动、速度、加速度,以及物体的形状、工作状态的识别等。光电传感器具有非接触、响应快、性能可靠等特点,因此在工业自动化装置和机器人中获得广泛应用。新的光电器件不断涌现,为光电传感器的进一步应用开创了新的一页。石墨烯是一种由碳原子形成...
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