技术编号：11693801
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在带电粒子束附近执行激光烧蚀时保护光线光学组件。背景技术带电粒子束系统用于多种应用中，包括诸如集成电路、磁记录头和光刻掩模之类的小型装置的制造、修理和检验。带电粒子束包括离子束和电子束。聚焦束中的离子通常通过在物理上从表面喷出材料来具有至微机械的充分动量。因为电子比离子要轻得多，所以电子束通常被限制成通过引起蚀刻剂蒸汽与衬底之间的化学反应以去除材料。离子束和电子束均能够用于以比最佳光学显微镜能够实现的更大放大率和更高分辨率来对表面进行成像。使用镓液态金属离子源(LMIS)的离子束系统因...
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