技术编号：11693805
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种物理量传感器和电子设备。背景技术近年来，开发了一种例如利用硅MEMS（MicroElectroMechanicalSystem：微电子机械系统）技术，而实现小型且高灵敏度的物理量传感器的技术。例如，在专利文献1中，公开了一种具备如下的质量体的加速度传感器，所述质量体具有能够以扭转连接部（torsionweb）为中心而进行旋转的两个翼部。在该加速度传感器中，采用如下的结构，即，通过分别在两个翼部上设置贯穿孔，从而相对于扭转连接部（torsionweb）反向且相同大小的扭转产生相同大小...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。