技术编号：11697377
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种表面纹理测量设备、用于该表面纹理测量设备的控制器，以及用于控制该表面纹理测量设备的方法。进一步，本发明涉及具有多个显示量程(range)的表面纹理测量设备、和用于控制该表面纹理测量设备的方法。背景技术通常，表面纹理测量设备已知通过探针扫描工件的表面，以测量其表面纹理(表面粗糙度、波动、外形等等)。在表面纹理测量设备中，探针沿固定的方向(X轴方向)移动，并由于工件表面的不平整而在探针的垂直方向(Z轴方向)产生位移。检测信号进行放大或者AD转换被执行，然后作为移动距离的函数在显示器上显...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。