技术编号：11697912
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。离子束扫描器、离子布植机及控制点离子束的方法相关申请的交叉参考本申请主张2013年10月22日申请的美国临时专利申请案号61/894,065的优先权。技术领域本实施例是有关于一种离子束仪器，且特别是有关于一种控制离子束的离子束扫描器、离子布植机及控制点离子束的方法。背景技术至今，常根据应用的特定组合来建构离子布植机，以达到布植的最佳化。在目前的应用中，例如一些束线离子布植机经配置以产生高电流带状束，其中由基材所截取的此束的剖面具有比束高大很多的束宽。在一些配置中，束宽仅比基材在基材平面上的尺寸大...
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