技术编号:11702076
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。用于抗蚀剂组合物的多元酚化合物本申请是申请日为2012年8月9日、申请号为2012800393404、发明名称为“抗蚀剂组合物、抗蚀图案形成方法、用于其的多元酚化合物以及由其衍生而得到的醇化合物”的申请的分案申请。技术领域本发明涉及抗蚀剂组合物以及使用其的抗蚀图案形成方法。此外,本发明还涉及能在前述抗蚀剂组合物等中使用的多元酚化合物以及由其衍生而得到的醇化合物。背景技术迄今为止,一般的抗蚀材料为能够形成非晶薄膜的高分子系材料。例如对抗蚀薄膜照射紫外线、远紫外线、电子射线、远紫外线(EUV)、X射...
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