技术编号:11703689
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及蚀刻液回收处理技术领域,具体涉及一种高酸度含镍三氯化铁蚀刻废液的再生处理方法。背景技术三氯化铁溶液由于具有一定的氧化性和酸性,对铁、镍具有很好的腐蚀作用,因而被大量的应用于金属蚀刻,如精细电路图形的蚀刻、微电子封装中在三氯化铁蚀刻镍不锈钢荫罩过程。蚀刻过程中,FeCl3被镍不锈钢还原成FeCl2,同时少量金属镍会被氧化以Ni2+形式进入蚀刻液。蚀刻过程中,随着蚀刻液中FeCl3浓度的降低和Ni2+浓度的升高,蚀刻的效率会有所下降。此外,蚀刻液中Ni2+浓度的升高还容易导致产品蚀刻表面过...
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