一种表面量子点湿度传感器芯片的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:11719382

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本发明涉及半导体电子器件,特别是一种表面量子点湿度传感器芯片。背景技术量子点又称半导体纳米晶,与块体材料相比,其尺寸小、比表面积大、表面能高、表面原子比例大,当其粒径小于激子玻尔半径时,导致粒子的电子状态发生突变,从而显现出基本的小尺寸效应、表面效应、量子效应和宏观量子隧道效应;由于其独特的光电性质,如高的量子产率、长的荧光寿命、大的消光系数、强的光耐受性、窄的发射谱和较宽的激发光谱等,量子点的制备和应用引起了人们广泛的关注;尤其是在传感领域,量子点已经用于构建传感器,如离子传感器、生物传感器、...
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