技术编号:11722844
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜技术领域,特别涉及一种类金刚石薄膜及其制备方法。背景技术金刚石中的碳原子以SP3杂化键的形式结合,石墨中的碳原子以SP2杂化键的形式结合,而类金刚石薄膜(简称DLC薄膜)是由金刚石结构的SP3杂化碳原子和石墨结构的SP2杂化碳原子相互混杂形成的三维网络构成,是一种亚稳态非晶材料。类金刚石薄膜具有高硬度、低摩擦系数、高热导率、低介电常数、宽带隙、良好光透光率、耐磨耐蚀及良好的生物相容性等特点,在航空航天、机械、电子、光学、装饰外观保护、生物医学等领域有广阔的应用前景。类金刚石薄膜一般...
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