技术编号:11726611
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及测量的技术领域,尤其涉及到一种阶梯形光电传感器阵列高灵敏度的光栅尺。背景技术在精密测量中,光栅尺作为重要的工具,利用光栅的光学原理,进行精密位移或角度测量。现有光栅尺主要有增量光栅尺和绝对光栅尺两种,其中,增量光栅尺利用等间距的刻线产生明暗相间的莫尔条纹,通过数条纹数量,对移动的距离进行计数。根据测量精度要求可以对条纹进行细分。然而,当分辨率高时,在高速运动时产生丢步。绝对光栅尺虽然不丢步,但是需要通过图像处理识别编码,速度慢。申请人在先发明提出了一种纵横转换放大光栅尺,将宽度方向的细...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。