一种阶梯形光电传感器阵列高灵敏度的光栅尺的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:11726611

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本发明涉及测量的技术领域,尤其涉及到一种阶梯形光电传感器阵列高灵敏度的光栅尺。背景技术在精密测量中,光栅尺作为重要的工具,利用光栅的光学原理,进行精密位移或角度测量。现有光栅尺主要有增量光栅尺和绝对光栅尺两种,其中,增量光栅尺利用等间距的刻线产生明暗相间的莫尔条纹,通过数条纹数量,对移动的距离进行计数。根据测量精度要求可以对条纹进行细分。然而,当分辨率高时,在高速运动时产生丢步。绝对光栅尺虽然不丢步,但是需要通过图像处理识别编码,速度慢。申请人在先发明提出了一种纵横转换放大光栅尺,将宽度方向的细...
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