技术编号:11726621
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种位移测量装置及测量方法,尤其涉及一种二维位移测量及测量方法,属于激光测量领域。背景技术激光回馈效应是在激光系统中,激光器输出光被外部物体反射或散射后,部分光回到激光器内与腔内光混合后引起的激光器的输出特性变化的现象。基于激光回馈效应的激光移频回馈技术除了具有结构简单,非接触、无损检测等优点外,还具有灵敏度高,可对粗糙表面进行测量的特点。目前,激光回馈技术已经被应用于精密位移测量、速度测量、形貌测量、振动测量、位相延迟测量等领域。传统的离面位移和面内位移测量技术主要有电子散斑干涉、数...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。