二维位移测量装置及测量方法与流程技术资料下载

技术编号:11726621

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本发明涉及一种位移测量装置及测量方法,尤其涉及一种二维位移测量及测量方法,属于激光测量领域。背景技术激光回馈效应是在激光系统中,激光器输出光被外部物体反射或散射后,部分光回到激光器内与腔内光混合后引起的激光器的输出特性变化的现象。基于激光回馈效应的激光移频回馈技术除了具有结构简单,非接触、无损检测等优点外,还具有灵敏度高,可对粗糙表面进行测量的特点。目前,激光回馈技术已经被应用于精密位移测量、速度测量、形貌测量、振动测量、位相延迟测量等领域。传统的离面位移和面内位移测量技术主要有电子散斑干涉、数...
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