技术编号:11726623
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学微机电系统领域,尤其涉及一种微镜镜面翘曲程度检测装置以及检测方法。背景技术微镜是基于MEMS工艺技术制造的集成了光学微反射镜和微驱动器的MEMS芯片,是光学MEMS器件中的核心元件,其镜面尺寸通常为数百微米至数千微米。曲率半径是表征微镜表面变形、翘曲的主要技术参数。微镜通常采用表面镀有金或铝等金属材料、光学介质反射膜的硅薄膜,硅薄膜的厚度一般为数微米至数十微米厚,而金属薄膜的厚度通常仅为数百纳米。由于硅、金属两种薄膜材料的热膨胀系数、杨氏模量的不同,以及薄膜内部存在应力,导致微镜偏...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。