技术编号：11726629
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学检测领域，具体涉及一种处理波长移相干涉中超薄平行平板交叉式干涉条纹方法。背景技术移相干涉技术从实现方式上可以分为两类，以PZT为代表的硬件移相技术以及波长移相技术。当测量平行平板时，硬件移相技术不能克服多表面干涉形成的寄生条纹的影响，需要进行涂抹凡士林等措施消除寄生条纹，由此会对测量引入误差，而波长移相技术可以克服上述缺点。在波长移相干涉仪中，激光器既作为光源，其波长又可以连续改变，起到移相器的作用。当测量平行平板时，根据波长移相原理，前后表面产生的干涉信号虽然空域的干涉图上是混叠...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。