技术编号:11726641
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种环抛加工修正盘表面形状误差的检测装置及检测方法。背景技术环抛加工因其能够有效地抑制中频误差并且残留的亚表面损伤层深度很浅,因而被广泛用作平面光学元件的最终精密抛光。但是,低频面形误差的有效快速收敛难题却一直制约着加工效率的提高。面形误差主要取决于加工设备的运动参数以及元件和沥青抛光盘的界面接触应力分布。针对面形收敛问题,目前普遍采用的方法是改变修正盘的偏心距进而改变沥青抛光盘的面形,实现元件表面材料的非均匀去除,最终达到元件表面均一化的目的。而修正盘自身的面形误差对元件材料的单点去...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。