一种热成像传感器像素单元及其阵列的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:11726891

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本发明涉及测量技术领域,尤其涉及一种热成像传感器像素单元及其阵列。背景技术根据普朗克黑体辐射理论,任何温度高于绝对零度的物体都会发出与其特性相关的红外辐射,又称热辐射。物体的热辐射特性主要由物体的温度决定,温度越高,辐射强度越大,能量越高。能够进行红外辐射探测的传感器称为红外传感器或红外探测器,分为光子型红外传感器与测热型红外传感器两大类。光子型红外传感器利用半导体材料的光电效应,通过测量红外电磁波的光子所引起的探测器的电子状态改变而产生的光伏或光电导等现象实现红外测量。光子型红外传感器具有较高...
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