技术编号：11728228
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光电子器件技术领域，具体涉及一种内外双微环谐振器结构。背景技术微环谐振器是一种光波在微环波导和直波导中来回偶合，从而提供光能反馈的器件，可用以实现通信与信号处理中的滤波、调制、开关及延时等功能，是一种非常重要的谐振器。随着光通信技术和信息产业化的迅速发展，不仅对光通信系统提出了更高的要求，对光通信器件也提出了微型化、集成化的要求。微环谐振器具有Q值高、速度高、损耗低、结构简单及尺寸小等优点，并且与集成电路制作工艺相兼容，因此微环谐振器逐渐成为了硅基光电子器件的核心元件。微环谐振器通过在...
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