一种扩膜机及利用该扩膜机进行激光切割的工艺的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:11730766

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本发明涉及光电技术领域滤光片等元件的加工,具体涉及一种扩膜机及利用该扩膜机进行激光切割的工艺。背景技术传统的滤色片或滤光片等元件是采用DISCO安装钻石刀片切割,由于这些元件是脆性材料,极易破裂,接触式加工极易导致滤色片边缘破裂,交叉部分更为严重,导致滤色片崩边较多,有时还会造成隐性裂纹,从而导致成品的胶合力不稳定。而新型的激光切割属于非接触式加工,无应力,切边平直整齐,无损坏;不存在道具磨损问题,不会损伤滤色片结构;切割速度快,切割深度极易控制,可以在维持速度不变的条件下,加大输出功率来增加切...
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