技术编号:11730769
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及芯片加工领域,特别是涉及一种固晶机的拾取键合装置。此外,本发明还涉及一种包括上述拾取键合装置的固晶机。背景技术目前LED产业发展迅速,LED封装可以提供芯片的机械保护、嘉庆散射、电信号连接和光学控制等功能。完整的LED封装需要经历点胶、固晶、烘烤、焊线、树脂封装、烘烤、切脚、检测等工序。其中的固晶工序需要使用固晶机。在现有技术中,固晶机的拾取键合装置一般包括驱动轴、固晶臂和吸嘴,固晶臂的一端连接驱动轴,另一端连接吸嘴。工作时,驱动轴带动固晶臂移动,进而使吸嘴由原点移动至拾取晶圆位置,控...
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