技术编号：11732631
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及向清洗对象物的清洗面供给清洗液而对清洗面进行清洗的清洗装置，涉及提高清洗液的清洗效果的技术。背景技术以往，公知有如下的清洗装置：向清洗对象物的清洗面供给清洗液而对清洗面进行清洗。这样的清洗装置例如在半导体、液晶面板等平板显示器的制造工序中在将抗蚀剂剥离(溶解)的处理中使用(例如参照专利文献1)。以往，在将抗蚀剂剥离(溶解)的处理中，使用药液作为清洗水，但近年来，从对环境的影响等观点出发，要求降低药液的使用量，开始使用臭氧来取而代之。臭氧具有将有机物溶解的能力，能够将作为有机物的抗蚀剂去...
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