气动测量装置的测量体的制作方法技术资料下载

技术编号:11733248

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本发明涉及一种用来测定工件的气动测量装置的测量体。背景技术气动测量装置通常是已知的,并且例如在尺寸测量技术中用来以非常高的分辨率(例如达0.1μm)实施非接触的测量。尤其借助气动测量装置可静止和/或动态地测量几何特性,例如直线度、平面度、圆度、圆柱度、轮廓、角度、直角度、平行度、位置、同心度、对称度和圆周运动。US2846871公开了一种用来测定工件的气动测量装置的相关类型的测量体,它具有基体,在该基体中第一流动通道用来连接压缩空气源与测量喷嘴,其中第一流动通道具有收窄区域,它具有至少一个横截面...
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