技术编号:11735242
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电子束加工设备技术领域,具体涉及一种电子束加工设备工件表面聚焦电流自动整定方法及系统。背景技术电子束加工设备中用磁透镜磁场对电子束产生洛伦兹力,使电子束导向并调节其外形,从而达到让电子束会聚的目的。目前,磁透镜磁场一般由磁聚焦装置所产生,该磁聚焦系统主要由励磁绕组和供电电源组成。励磁绕组产生的磁场在电子束通道中的方向与电子束飞行方向平行,励磁绕组与供电电源相连。供电电源为可调直流电源,由于励磁绕组对于励磁电流的精度一般要求较高(偏差≤0.05%),因此供电电源中需采用低温漂精密电阻作为...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。