技术编号:11742898
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种火焰水解沉积装置,尤其涉及一种具备多个腔室,喷炬在持续火焰的状态下在各个腔室的转台之间相互交替作业给位于转台上部的晶圆片连续涂覆的可消除火焰水解缺陷的沉积装置。背景技术现有技术中火焰水解沉积装置(apparatusforflamehydrolysisdeposition)(以下简称“FHD”)是由光纤制备方法即VAD(vacuumapplicationdeposition:真空中沉积)装置衍生而来,是在常压下给喷炬内供应原料使其燃烧产生反应,进而使氧化物微粒子沉积于基板的装置。...
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