技术编号:11752088
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于气体净化设备技术领域,具体涉及一种超纯纳米电子级气体过滤装置。背景技术超纯电子级气体由氢、氧、氮、氩、氦、氨、二氧化铵、四氧化碳各类气体氢化物及二元或三元以上的混合气等组成,它们大部分是从空气、天然气、石油化工和合成氨厂的残余气体中提取后进一步精制得到。超纯电子级气体通常根据原料气来源情况、杂质组份含量、纯度要求来选择相应的制备方法。集成电路发展到兆位级后,对超净提出了更严格要求。在超纯气体或电子气体供气系统中,为了脱除由于振动或气流冲击所造成的脱落粒子,在使用气前须安装过滤器。目前国...
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