技术编号：11757888
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及微机械技术领域，尤其涉及一种微动装置、显微镜扫描头及显微镜装置。背景技术在科学研究以及超精密机械操作中，往往需要实现纳米级精密可控的移动，并且保证微动台体积与质量足够小以节省设备的安装空间。滑轨齿轮等方式均不能满足要求。1880年，居里兄弟首先发现了压电效应，1881年，又实验验证了逆压电效应，在压电陶瓷被发现之后，压电材料的应用得到了极大地发展。压电陶瓷的正压电性是指在机械外力作用下，压电陶瓷的两端在压力下出现放电现象，拉力下出现充电现象的效应。而其逆压电效应则相反，当在压电陶瓷...
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