技术编号：11759774
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及测量硅材料电阻率的技术领域，特别是涉及一种便携式测量硅材料电阻率的四针探头。背景技术硅料包括P型硅料、N型硅料以及电阻率低的重掺硅料，用作多晶硅铸锭或是单晶拉制的原料时，必须严格测试这些硅料的导电类型和电阻率。目前，关于检测半导体硅材料电阻率及导电类型的测试设备、测量端头，已有相关的文献报道，如公开号为CN101852827A的中国专利公开了一种硅材料电阻率语音测试笔，该实用新型是由探头、电子电路部份及语音发声播放部分组成；电子电路部分由电源及升压电路部分、恒流源及探头电路部分、运...
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