技术编号：11760253
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种曝光装置。背景技术在显示面板的制作过程中，曝光工艺是较为常见的制作工艺。曝光工艺一般通过曝光装置来实现。现有的曝光装置，如图1所示，包括：光源101、掩膜板102、用于承载掩膜板102的第一载台103、光学结构104以及用于承载待曝光基板的第二载台105；其中，光学结构104一般采用由梯形镜106、凹面镜107和凸面镜108组成的UM(UltraMirror)结构，光源101则采用圆弧光源，从光学结构104出射的光为圆弧光。在曝光工艺开始之前，曝光装置通常...
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